Deposición de películas delgadas con espesor uniforme mediante la técnica de evaporación iónica

Montero Arteaga, Wimpper Daniel

Deposición de películas delgadas con espesor uniforme mediante la técnica de evaporación iónica - Callao 2008 - 60

Velocidad molecular en gas, trayectoria libre.., rapidez de incidencia.., regímenes de flujo.., gasto, conductancia, fugas, bombas de.., vacuómetro de .., técnica de producción , evaporación térmica, rapidez de evaporación de fuente, presión de vapor y temperatura, crisoles, evaporación iónica,......

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