"Deposición de películas delgadas con espesor uniforme mediante la técnica de evaporación iónica"
Detalles de publicación: Callao 2008Descripción: 61 NoISBN:- 17917
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La técnica de películas delgadas permite modificar las propiedades superficiales de otro material. La producción de películas delgadas puede llevarse a cabo por diferentes métodos. Sin embargo, la evaporación iónica ha demostrado ser la más rápida y eficiente.La técnica consiste en someter un gas inerte, a baja presión, a choques continuos con electrones, provenientes del plasma, de tal manera que este gas llamado de proceso se ionize, y sea acelerado mediante campo eléctrico, colisionando con el material al cual deseamos evaporar.
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La técnica de películas delgadas permite modificar las propiedades superficiales de otro material. La producción de películas delgadas puede llevarse a cabo por diferentes métodos. Sin embargo, la evaporación iónica ha demostrado ser la más rápida y eficiente.La técnica consiste en someter un gas inerte, a baja presión, a choques continuos con electrones, provenientes del plasma, de tal manera que este gas llamado de proceso se ionize, y sea acelerado mediante campo eléctrico, colisionando con el material al cual deseamos evaporar.
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