00981nam a2200145Ia 450000500170000000800410001702000100005810000360006824501120010426000170021630000110023350505660024494200080081099900170081820250107234327.0250106s2008    xx            000 0 und d  a17917  aMontero Arteaga, Wimpper Daniel 0a"Deposición de películas delgadas con espesor uniforme mediante la técnica de evaporación iónica"  aCallaoc2008  a61eNo  aLa técnica de películas delgadas permite modificar las propiedades superficiales de otro material. La producción de películas delgadas puede llevarse a cabo por diferentes métodos. Sin embargo, la evaporación iónica ha demostrado ser la más rápida y eficiente.La técnica consiste en someter un gas inerte, a baja presión, a choques continuos con electrones, provenientes del plasma, de tal manera que este gas llamado de proceso se ionize, y sea acelerado mediante campo eléctrico, colisionando con el material al cual deseamos evaporar.  cIFI  c75016d75016