000			00964nam a2200145Ia 4500
005			20250107234327.0
008			250106s2008 xx 000 0 und d
020			_a17917
100			_aMontero Arteaga, Wimpper Daniel
245		0	_a"Deposición de películas delgadas con espesor uniforme mediante la técnica de evaporación iónica"
260			_aCallao _c2008
300			_a61 _eNo
505			_aLa técnica de películas delgadas permite modificar las propiedades superficiales de otro material. La producción de películas delgadas puede llevarse a cabo por diferentes métodos. Sin embargo, la evaporación iónica ha demostrado ser la más rápida y eficiente.La técnica consiste en someter un gas inerte, a baja presión, a choques continuos con electrones, provenientes del plasma, de tal manera que este gas llamado de proceso se ionize, y sea acelerado mediante campo eléctrico, colisionando con el material al cual deseamos evaporar.
942			_cIFI
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